| 产品型号与性能参数 | | 型号 (xy 工作台尺寸) | 505c | 1010c | 2010c | 2017c | 3017c | 4020c | | 货号* mf-a | 176-661 | * 176-662* | 176-663* | 176-664* | 176-665* | 176-666* | | mf-b | 176-681 | * 176-682* | 176-683* | 176-684* | 176-685* | 176-686* | | xy 工作台行程范围 | 50 x 50mm | 100 x 100mm | 200 x 100mm | 200 x 170mm | 300 x 170mm | 400 x 200mm | | z 轴移动范围 | 150mm | 150mm | 150mm | 220mm | 220mm | 220mm | | 调焦方式 | 手动调焦 (粗调焦: 30mm/rev., 微调焦: 0.2mm/rev.) | | 测量方法线性编码器 | (2 轴型: x / y 轴, 3 轴型: x / y / z 轴) | | 分辨率 (可转换) | 0.001mm | 0.0005mm | 0.0001mm | .0001" | .00005" | .00001" | | 测量精度 (20ºc 时) | xy 轴: (2.2+0.02l)μm, l 为无负载测量长度(mm), jis b 7153 | | 指示精度 (20ºc 时) | z 轴: (5+0.04l)μm, l 为测量长度 (mm) | | 浮动功能 | 带有快速释放功能的x 和y 轴 | | xy 工作台台面尺寸 | 280 x 280mm | 280 x 280mm | 350 x 280mm | 410 x 342mm | 510 x 342mm | 610 x 342mm | | 载物玻璃有效尺寸 | 180 x 180mm | 180 x 180mm | 250 x 150mm | 270 x 240mm | 370 x 240mm | 440 x 240mm | | 旋转功能 | — | — | — | ±5º (左) | ±5º (左) | ±3º (左) | | 台面Zui大承重 | 10kg | 10kg | 10kg | 20kg | 20kg | 15kg | | Zui大工件高度 | 150mm | 150mm | 150mm | 220mm | 220mm | 220mm |
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